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更詳細(xì)的產(chǎn)品分類

高溫爐（馬弗爐）工業(yè)爐半導(dǎo)體制造熱處理設(shè)備 FPD熱處理設(shè)備加熱元件

產(chǎn)品圖片	產(chǎn)品名稱/型號(hào)	產(chǎn)品簡單介紹
	通用量產(chǎn)型立式爐 VF-5100	通用量產(chǎn)型立式爐Flexible equipment configuration available for various production line50 to 150 wafers batch size can be selected 4 to 8 inch wafer size is available 4 to 8 cassette stocks
	對(duì)應(yīng)8inch Wafe的立式爐 VF-5300	對(duì)應(yīng)8inch Wafe的立式爐Large batch, Max 150 wafers batch processing Max 20 cassette stocksExcellent temperature control from low to medium high temperature range by use of LGO heaterHigh-speed wafer
	對(duì)應(yīng)300mm Wafer的小型立式爐 VF-5700	對(duì)應(yīng)300mm Wafer的小型立式爐Mini Batch, flexible 25 to 50 wafers batch processingMax 12 FOUP stocksHigh throughput by high-power heater with fast heat upHigh-speed wafer transfer by use of single/five wafers
	對(duì)應(yīng)300mm Wafer的小型立式爐 VF-5900	對(duì)應(yīng)300mm Wafer的小型立式爐Large batch, Max 100 wafers batch processing Max 16 FOUP stocksExcellent temperature control from low to medium high temperature range by use of LGO heater
	滾筒式連續(xù)爐 RH	滾筒式連續(xù)爐 The transfer roller of special ceramics and the original driving system avoid generating dust in the oven.
	多片一體式連續(xù)凈化爐 VB	多片一體式連續(xù)凈化爐The walking beam system with high clean performance has been adopted.A bulk transfer of the glass substrate loaded in a heat-resistant cassette has realized high production efficiency.
	大口徑立式爐 VFS	大口徑立式爐Flagship model that has achieved semiconductor specification. The semiconductor diffusion furnace has been modified to a larger scale For the flat panel display.
	分批式凈化系統(tǒng) CBS	分批式凈化系統(tǒng) The original sealed structure has enabled the atmospheric process. With the ultra high HEPA filter adopted,the maximum available temperature at 500℃ has been achieved.
	真空干燥裝置 CCBS-Vspec	真空干燥裝置 Heating process in vacuum is available. This system is, especially, best suited for such a device that needs the process in vacuum as the organic EL.
	單片IR式凈化燒成爐 CCBS-IR	單片IR式凈化燒成爐 Clean structure with no dust caused by itself Far-infrared radiation(IR) heating system has been adopted.
	單片熱風(fēng)式凈化燒成爐 CCBS	單片熱風(fēng)式凈化燒成爐 High productivity with narrowed rack pitch in oven High clean and damage free
	HGC加熱器 HGC加熱器	HGC加熱器インターロッキングコイルスペーサーを多數(shù)列配置してコイル狀発熱體を保持斷熱材に弾力性をもたせ発熱體の変形を防止斷熱材表面をジルコニアコーティングし、パーティクルの発生を抑制 *高使用溫度1250℃ 優(yōu)れた昇降溫特性優(yōu)れた高溫安定性
	LGO加熱器 LGO	LGO加熱器従來型太線ヒータ比約70%の省エネルギー(當(dāng)社比) 早い昇降溫特性優(yōu)れた低溫安定性
	使用示例使用示例	使用示例在產(chǎn) 品內(nèi) 容中有關(guān) 于使用示例的詳細(xì) 介紹。
	安裝方法安裝方法	安裝方法在產(chǎn) 品內(nèi) 容中有關(guān) 于安裝方法的詳細(xì) 介紹。
	1/4圓筒型 QR-6450，QL-6450	1/4圓筒型加熱元件在產(chǎn) 品內(nèi) 容中有關(guān) 于 1/4 圓筒型的詳細(xì) 介紹。
	半圓筒型 HR型，HL型，	半圓筒型在產(chǎn) 品內(nèi) 容中有關(guān) 于半圓筒型的詳細(xì) 介紹。
	長方體型 PR型，PL型	長方體型加熱元件在產(chǎn) 品內(nèi) 容中有關(guān) 于長方體型的詳細(xì) 介紹。
	加熱元件 Plain Type	加熱元件Moldatherm is a very high efficient heating element andfunctionalinsulation vacuum-molded into a single-bodied heater unit. It is a unique heater module which realizes fast and accurate temperatu