產(chǎn)品[
ULVAC NB羅茨泵系列NB100A
]資料
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產(chǎn)品名稱:
ULVAC NB羅茨泵系列NB100A
產(chǎn)品型號:
NB100A
產(chǎn)品展商:
日本ULVAC
產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹
ULVAC NB羅茨泵系列NB100A
羅茨泵與油旋片真空泵、水環(huán)泵組合用，可在壓力1.3×103~1.3×10-1Pa范圍內(nèi)提高抽氣速率。NB系列羅茨泵是專為潔凈度要求較高的場合而設(shè)計的。特長結(jié)凈的真空腔體內(nèi)沒有潤滑油，對水蒸氣、溶劑等氣體也有穩(wěn)定的排氣性能。能在高吸入壓強下運轉(zhuǎn)選用比標準電機容量大**的電機，即可實現(xiàn)在高吸入壓強下的運轉(zhuǎn)。
ULVAC NB羅茨泵系列NB100A的詳細介紹
- ULVAC NB羅茨泵系列NB100A
- 特長和用途
- 技術(shù)參數(shù)表
- 抽氣速率曲線
- 尺寸圖
羅茨泵與油旋片真空泵、水環(huán)泵組合用，可在壓力1.3×103~1.3×10-1Pa范圍內(nèi)提高抽氣速率。NB系列羅茨泵是專為潔凈度要求較高的場合而設(shè)計的。
特長
結(jié)凈的真空
腔體內(nèi)沒有潤滑油，對水蒸氣、溶劑等氣體也有穩(wěn)定的排氣性能。
能在高吸入壓強下運轉(zhuǎn)
選用比標準電機容量大**的電機，即可實現(xiàn)在高吸入壓強下的運轉(zhuǎn)。
用途
照明、電子、光學(xué)、半導(dǎo)體
鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入
真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣
真空熱處理爐、燒結(jié)爐、釬焊爐
分析儀器、檢漏設(shè)備，CO2激光設(shè)備
機 型 | NB100A | NB300A | NB600A | NB1200A |
項 目 |
抽氣速率*3 m3/h（L/min） | 50Hz | 95(1580) | 280(4670) | 500(8330) | 1000(16667) |
60Hz | 115(1920) | 330(5500) | 600(10000) | 1200(20000) |
*大吸入壓力 Pa (連續(xù)運轉(zhuǎn)時) | 50Hz | 1.3×103 | 1.2×103 | 1.3×103 |
60Hz | 1.3×103 | 9.3×102 | 1.1×103 |
*大允許壓力差 Pa (排出壓力-吸入壓力) | 50Hz | 8.0×103 | 4.0×103 | 7.3×103 |
60Hz | 6.7×103 | 3.3×103 | 6.0×103 |
極限壓力 Pa*1 | 4.0×10‐1 | 6.7×10‐1 |
標準粗抽泵 | GLD-N280 VDN301 | VDN401 | VSN1501 VSN2401 | VSN1501 VSN2401 |
電 機 | kW (極) *2 *4 | 0.4（2） | 0.75（2） | 2.2（2） | 3.7(2) |
V-Hz | 380/400/415V-50Hz、380/400/440V-60Hz |
使 用 油 | ULVOIL® R-4 |
所需油量 L | 0.35 | 0.70 | 1.50 | 1.90 |
冷卻水量 L/min*6 | 空 冷 | 2 *5 | 2 | 3 |
進水壓力 MPa | － | | 0.3 | |
進出水壓差 MPa | － | 0.05 | 0.1 |
重 量 kg | 24 | 49 | 77.5 | 110 |
吸氣口徑 (JIS B 2290) | 相當 VG50 | 相當 VG80 | 相當VG80 | 相當VG100 |
排氣口徑 (JIS B 2290) | 相當VF50 | 相當VF80 | 相當VF80 | 相當VF80 |
*1 用皮拉尼真空計測量的值，如用麥氏真空計測量，則為4.0×10-2Pa（3.0×10-4Torr），而NB1200A則為6.7×10-2Pa（5.0×10-4Torr）。
*2 電源為AC380V、50Hz、三相。
*3 隨粗抽泵的性能而變化，表中為標準泵的組合的數(shù)據(jù)。
*4 NB300A、NB600A、NB1200A可分別選購1.5kW、3.7kW、5.5kW的大容量電機。
*5 對于530Pa（4Torr）以下可用空冷，但530Pa(4Torr)以上進行連續(xù)運轉(zhuǎn)必須用水冷。
*6 冷卻水溫為5～30℃。
ULVAC NB羅茨泵系列NB100A
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