產(chǎn)品[
ULVAC濺射裝置
]資料
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產(chǎn)品名稱:
ULVAC濺射裝置
產(chǎn)品型號(hào):
RFS-200/SCOTT-C1/SCOTT-C3/VPS-020/VPS-050
產(chǎn)品展商:
其它品牌
產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹
ULVAC濺射裝置
濺射裝置RFS-200/SCOTT-C1/SCOTT-C3/VPS-020/VPS-050
ULVAC濺射裝置的詳細(xì)介紹
小型高頻濺射裝置 | 結(jié)構(gòu)小巧、價(jià)格低廉的試驗(yàn)裝置 |
靶材尺寸 | φ80厚度1-5mm | 真空室 | 200mm(長)×250mm(寬)×150mm(高）
SUS?304制 前面開門 | 基板電極 | φ80Cu制 加熱。冷卻式 | 靶電極 | φ80Cu制 冷卻 | 擋板 | φ95厚度1mm手動(dòng)操作 | RF電源 | 200W×13.56MHz 帶與RF電源匹配的電路 | 基板加熱電源 | 管加熱器加熱自動(dòng)溫調(diào)MAX350℃
溫度指示計(jì) (數(shù)字型) | 排氣系統(tǒng) | F-250油擴(kuò)散泵（240L/sec）
油旋片真空泵G-100D（100L/min）
主閥2。5英寸蝶閥
水冷閥 三向切換閥 皮拉尼真空計(jì)(數(shù)字型２點(diǎn)式) | 本體尺寸 | 800mm(長)×630mm(寬)×1450mm(高） | 重量 | 200kg | 電力 | 100V 1φ 1.3kVA | RF電力 | 100V 1φ 0.5kVA | 冷卻水用量 | 0.2MPa 5L/min 25℃以下 | 選購件 | 液氨冷阱、磁控管、電離真空計(jì)、追加氣體導(dǎo)入、排氣口過濾器、基板加熱650C |
| 極限壓力 | 6.7X10-4 | 排氣時(shí)間 | 10-3Pa/5min | 基板加熱溫度 | MAX350℃ | 濺射壓力 | 10-1PaAr氣體 | 靶材 | 導(dǎo)體
半導(dǎo)體
絕緣體 | Al、Cu、Au、Cr等
Si、Ge、Se等
SiO2、Al2O3 等 | | | | |
*可選擇渦輪分子泵、渦選型干泵情聞?dòng)崱?/span>
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小型磁控管濺射裝置 | 具備豐富機(jī)能、*適合各類基礎(chǔ)研究使用 |
基板尺寸 數(shù)量 | φ4英寸 （φ100mm）×t＝1mm、1個(gè) | 有效成膜范圍 | φ50mm | RF電源 | Max300W（40?300W可變） | 成膜速度 | SiO2成膜時(shí)、大于30nm/min | 膜厚分布 | SiO2成膜時(shí)、50mm+-10%以內(nèi) | 真空室極限壓力 | 6.6X10-4 | 排氣時(shí)間 | 5分鐘內(nèi)從大氣壓抽至6。6X10-3Pa | 基板加熱溫度 | Max350℃(水冷) | 基板電極間距離 | 60mm | 外形尺寸 | 1120mm(長)×704mm(寬)×1262mm(高） | 裝置重量 | 約500kg | 消耗電量 | 1φ100V（50/60Hz）3.0kVA | 消耗水量 | 約8L/min(水溫:25C以下、水壓:200Kpa) | 蝕刻分布 | 用酸化膜磈片時(shí)、70mm+-10%以內(nèi) | 選購件 | 追加氣體導(dǎo)入、質(zhì)量流量控制器、基板加熱600C (水冷)、DC電源 |
基板尺寸 數(shù)量 | φ2英寸 （φ50.8mm）×t＝1mm、1個(gè) | 有效成膜范圍 | φ25mm | RF電源 | Max300W（40?300W可變） | 成膜速度 | SiO2成膜時(shí)、大于30nm/min | 膜厚分布 | SiO2成膜時(shí)、25mm+-10%以內(nèi) | 真空室極限壓力 | 6.6X10-4 | 排氣時(shí)間 | 5分鐘內(nèi)從大氣壓抽至6。6X10-3Pa | 基板加熱溫度 | Max350℃(基板水冷機(jī)構(gòu):無) | 基板動(dòng)作 | 手動(dòng)調(diào)節(jié) 3點(diǎn)指針旋轉(zhuǎn) (約300度角) | 基板電極間距離 | 50mm?90mm（可變：半固定） | 外形尺寸 | 1100mm(長)×700mm(寬)×1070mm(高） | 裝置重量 | 約400kg | 消耗電量 | 1φ100V（50/60Hz）3.0kVA | 消耗水量 | 2L/min(水溫:25C以下、水壓:200Kpa) | 選購件 | 刻蝕機(jī)構(gòu) (洗凈)、追加氣體導(dǎo)入、質(zhì)量流量控制器、
基板加熱350C(水冷)600C無水冷、DC電源 |
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標(biāo)準(zhǔn)靶材 | φ49Au1個(gè) (鍍膜用)
φ49 Al 1個(gè)1個(gè) (刻蝕用) | 試料臺(tái) | φ70(高度調(diào)節(jié)范圍15mm、20mm、60mm) | 真空槽 | φ120(深度120mm)不銹鋼制 | 油旋片泵 | G-20DA型（20L/min） | 高壓電源 | 1kV/0?20mA(帶電流計(jì)、內(nèi)置安全電路) | 鍍膜方式 | AC/DC | 刻蝕方式 | AC/DC | 時(shí)間 | 0?15min、連續(xù)可變 | 氣體調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu) | 針閥 | 電源 | 100V１φ0.4kVA | 重量 | 8.5kg | 外形尺寸 | 160mm(長)×365mm(奧行)×317mm(高) | 選購件 | 1．靶材 Pt-Pd、Ag其它
2．油霧過濾器(OMT-050A)
*請(qǐng)根據(jù)用途挑選選購件 |
| 標(biāo)準(zhǔn)靶材 | φ109Au1個(gè) (鍍膜用)
φ109 Al 1個(gè)1個(gè) (刻蝕用) | 試料臺(tái) | φ100(高度調(diào)節(jié)范圍15mm、20mm、60mm) | 真空槽 | φ240(深度120mm)不銹鋼制 | 油旋片泵 | G-100D型（100L/min） 選購件 | 高壓電源 | 1kV/0?20mA(帶電流計(jì)、內(nèi)置安全電路) | 鍍膜方式 | AC/DC | 刻蝕方式 | AC/DC | 時(shí)間 | 0?15min、連續(xù)可變 | 氣體調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu) | 針閥 | 電源 | 100V１φ0.5kVA | 重量 | 20kg | 外形尺寸 | 282mm(長)×485mm(奧行)×440mm(高) | 選購件 | 1．靶材 AU、 Pt-Pd、Ag其它
2．油霧過濾器(OMT-050A)
*請(qǐng)根據(jù)用途挑選選購件 |
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VPS-020
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