產品[
日本YAMATO等離子清洗機CV600
]資料
如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱:
日本YAMATO等離子清洗機CV600
產品型號:
CV600
產品展商:
YAMATO
產品文檔:
無相關文檔
簡單介紹
日本YAMATO等離子清洗機CV600
CV600
在產品內容中有關于日本YAMATO等離子清洗機CV600的詳細介紹。
日本YAMATO等離子清洗機CV600的詳細介紹
日本YAMATO等離子清洗機CV600：
|
CV600
|
|
|
Specifications
|
|
Model
|
CV600
|
|
Plasmamode
|
RIE ? DP
|
|
Electrode
|
Parallelflatstage plate
|
|
RFgeneratorpower
|
100 - 600W
|
|
Oscillating
|
13.56MHz
|
|
Controlsystem
|
Digitaldisplayand one touch control
|
|
Chamber
|
(W) 310 x (D)220x (H) 140mm
|
|
Electrodestage
|
(W) 230 x(D)140mm
|
|
Chambermaterial
|
SUS
|
|
Reactiongas
|
O2,Ar
|
|
Purge gas
|
N2 orDryair
|
|
Flow meter
|
Flow meter
|
|
Vacuumpump
|
Vacuumpump(120L/min)
|
|
Gas system
|
2 line andpurgeline
|
|
Externaldimensions
|
(W) 480 x (D)500x(H) 1,065mm
|
|
Powersupply(50/60Hz)
|
AC200/220/380VThree phase 7A
|
|